Kalrez®
在恶劣环境中稳定
专业密封设计用于关键任务应用。

O-rings made with high-performance Kalrez®.
从航空航天和化学工业到芯片制程以及油气应用,杜邦™ Kalrez® 弹性体旨在提供更高的稳定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
尽管杜邦没有发明 O 形圈或特种密封胶,但它在创新和发展方面已有 40 年的历史,创造出可承受 挑战性的工作环境的密封胶。
除了其清洁度和纯度外,Kalrez®聚合物分子链被设计为最惰性的聚合物结构之一,可耐受 1800 多种不同的化学物质,同时提供高温稳定性。
Kalrez®全氟弹性体是按照 质量标准制造的。每个部件都有记录的可追溯性,并且这些部件具有行业内最长、最可预测的使用寿命之一。
Kalrez®零件经过长期验证性能可以减少密封件的更换,维修和检查的频率,增加了过程和设备的正常运行时间,从而提高生产率和良率。

用途
泵、反应釜和法兰接头的密封与 O 形圈
阀杆填料系统
用于航空航天、石油和天然气设备、运输和化工的高性能零件
生命科学应用
半导体加工
光伏制造密封件
食品接触材料
优势
耐受 1800 多种化学物质
高达 327°C 高温耐受性
保持密封完整性
降低维护和运营成本
密封寿命长
符合药品和食品加工安全标准
提供标准和专用化合物,供定制使用


杜邦Kalrez®CP222全氣弹性体零件是用于独特定制形状或高产量应用的 产品。Kalrez°CP222零件提供 的化学稳定性和机械性能,并延续了杜邦提供高价值全氟弹性体零件以延长平均修复间隔时间(MTBR)的传统。
除了高流量0形环应用外,Kalrez°CP222}可以在各种定制几何形状中制造,这些几何形状曾经是全氣弹性体无法企及的。现在,Kalrez®}部件可以设计成适合复杂的新设备,或者可以作为现有应用的性能升级。
Kalrez°CP222通过提供具有独特型材和光滑表面处理的要件,拓展了定制全氟橡胶要件的可能性。
耐化学性
对于许多应用来说,弹性体的低体积膨胀对于设备的正常运行至关重要。过度的膨胀可能会导致由于密封失效和润滑液体的泄漏而导致设备过早停机。体积膨胀是性能的良好预测指标;然而,还需要进行其他物理性能测试来进一步定义产品性能。
以下化学品代表了行业中一些 性的应用。这些测试结果表明了性能;然而,所有应用都是独特的,强烈建议在实际工艺流体中进行浸没测试。


杜邦公司™卡尔雷兹粘合门密封件
密封设计+材料性能=更高的晶圆产量+更低的拥有成本
技术信息一2010年7月 0版
用于闸阀和狭缝阀门的密封门封提供了比传统0型圈更好的密封性能,通过减少颗粒生成、延长密封寿命和在预防性维护期间减少更换时间。
杜邦™“Kalrez°粘合门密封件设计简便,颗粒产生量低。它们结合了定制密封设计和专有的粘合技术,以及Kalrez°9100,8002和KalrezSahara8085的出色的等离子体阻力。与传统的0形环相比,密封件保持在“固定位置,从而消除了门驱动过程中的“滚动/扭动”。此外,密封设计已优化使用有限元分析(FEA),以尽量减少局部应力的高浓度。因此,与传统的0型环相比,颗粒生成和密封性能显著提高。Kalrez粘合门密封件可在Kalrez®9100、8002和Kalrez®Sahara中使用。"8085*用于蚀刻、灰化/剥离、HDPCVD、PECVD、SACVD、金属CVD和ALD芯片加工应用。
典型应用
闸阀、狭缝阀门和其他类似部件目前采用0形密封圈或燕尾密封。
与传统0型圈相比,颗粒产生更低,密封寿命更长·密封元件保持在“固定”位置,即在使用中消除“滚动/扭曲”·Kalreze9100,8002和KalrezeSahara"8085用于最小化反应等离子体中的粒子生成
·超纯后清洗和包装可减少不必要的污染
改进的密封性能-一 设计可 限度地减少高浓度的局部应力
与0型环密封在预防性维护期间相比,更换时间更短
·快速便捷地组装/拆卸到安装支架减少0型圈密封件常见的安装问题
在预防性维护过程中无需清洁密封盖
包装上的条形码加上封门密封件编号,以及刻在商业上可获得的封门密封件背面的Kalrez产品编号,保持可追溯性和识别性,并确保它是一个Kalrez全氟弹性体部件(FFKM)。
有效杜邦™Kalrez° 键合门封适用于大多数半导体 OEM 设备平台。此外,可以为大多数闸阀和狭缝阀门封应用开发定制的 Kalrez° 键合门封。超纯后清洗和包装是所有 Kalrez° 键合门封的标准。请联系杜邦高性能弹性体应用工程师或授权的 Kalrez°分销商,了解特定尺寸的可用性。
在Fab生产线上得到证明的性能
案例报告#6376-欧洲制造线,PECVD增值税MONOVAT保税门申请工艺化学:三甲基硅烷(TMS)、氧气
清洁化学:通过远程等离子体源进行NF3等离子·客户报告的结果:在处理超过55,000对晶圆后,没有报告Kalrez°9100VATMONOVAT*密封门性能问题。现有的VAT MONOVAT*密封门(具有竞争力的FFKM F4)在显示颗粒生成之前仅使用了30,000对晶圆。
案例报告 #7174-美国Fab线,综合ALD/钨合金CVD缝隙阀门密封应用工艺化学:WFS,SiH4,H2,N2,Ar
清洁化学: NF3 等离子体“原位”生成
·客户报告的结果:客户能够使用Kalrez°9100粘合狭缝阀门密封件将PM周期从6,000片晶圆延长至10,000片晶圆。由于密封寿命不一致,且由于颗粒生成而过早更换,现有粘合狭缝阀门密封件(竞争性FFKM A11)的PM周期设定为6,000片晶圆。
案例报告#7153-日本FabLine,HDPCVD缝隙阀门密封应用工艺化学: SiH4,02,He
·清洁化学:通过远程等离子体源产生 NF3 等离子
客户报告的结果:Kalrez°8002 键合狭缝阀门密封件在大约20,000个晶圆中持续运行,没有报告任何性能问题现有密封件(竞争性FFKM A11)在显示真空泄漏之前仅持续12,000个晶圆(1个PM周期)。
案例报告#7640-日本FabLine,HPDCVD缝隙阀门密封应用Process chemistry:SiH4,02,He,Ar,H2
清洁化学: NF3 等离子体
·客户报告的结果:Kalrez®8002}粘合式狭缝阀门密封件在15,000个晶圆周期内没有报告任何性能问题。现有密封件在显示颗粒生成和真空泄漏之前仅使用了10,000个晶圆。
案例报告#3786-欧洲Fab线,SACVD缝隙阀门密封应用
过程化学:TEOS,03,TEBO,TEP
客户报告结果:Kalrez° 撒哈拉"“8085键合狭缝阀门密封在超过30,000个晶圆周期内没有报告任何性能问题。现有的键合狭缝阀门密封(具有竞争力的FFKM A11)在出现粒子生成之前仅持续了10,000个晶回循环
案例报告#7262-欧洲 Fab Line,SACVD MONOVAT®粘合门密封应用·过程化学:TEOS,03,TEBO,TEB
·客户报告结果:没有报告与KalrezeSahara}相关的性能问题"8085 VAT MONOVAT@在处理96000对晶圆后绑定门。现有VATMONOVAT@绑定门(具有竞争力的FFKMA18和F4)在出现粒子生成和真空泄漏之前仅能承受30,000对和60,000对晶圆。
案例报告#5791-马来西亚Fab线,HDPCVD缝隙阀门密封应用·工艺化学:SiH4,02
清洁化学: NF3 等离子体
·客户报告结果:Kalrez°撒哈拉"8085键合狭缝阀门密封在12,000个晶圆中持续运行,没有任何性能问题报告。
现有的键合狭缝阀门密封(具有竞争力的FFKM A18)在出现裂纹之前仅运行了6.000个晶圆。
案例报告#8729-美国Fab生产线,钨CVD缝隙阀门密封应用


杜邦™ 卡莱克斯
全氟弹性体成分
在化学和环境苛刻环境下的可使用性和持久性
您可信赖杜邦密封解决方案"即使在最苛刻的工艺环境中
旨在提供 性能
40多年来,杜邦致力于改进全氟弹性体元件的生产。弹性体元件通常由三个元素组成:聚合物链(弹性体的主要链),交联系统(将聚合物链连接在一起,对弹性和密封性至关重要)和加载系统(用于提高机械性能)。由于其长期的经验,杜邦将这三者结合在一起,提供 密封性。
减少挥发性持放物
Kalreze解决方案KalrezValveStem Packing系统有助于减少挥发性废物的损失和排放,从而提高环保法规的合规性。通过保持完整的密封性,Kalrez组件降低了违反环境法的风险。
生产过程的纯净性
Kalrez组件有助于避免工艺污染:
.Resistendo alla degradazionea contatto con sostanzechimiche aggressive;
更低的维护成本
杜邦组件™Kalrez有助于增加平均维修时间(MTBR)并降低维护成本。它们的耐用性 限度地减少停机时间非编程机器,可延长常规检查和关键部件维修周期之间的时间。
*Mantenendo la forza di tenuta allealte temperature.in modo da ridurre
le perdite;
*Contenendo meno ingredienti che
vengono estratti nel processo;
Limitando il degassaggio nelle tenutesottovuoto:
更高的生产力
通过降低更换频率,密封件的修理和检查,增加工艺和设备的服务时间,提高生产力和产量。
更大的安全性
与其他弹性体相比,使用寿命更长,性能更好,Kalrez有助于降低由于密封件失效而导致的化学污染风险。
*Soddisfacendo le norme FDA piùsevere riguardanti purezza e igiene
通过IS0 9001认证和可追溯4
Kalrez"组件仅由杜邦制造,完全集成的组件和模具制造商Vespel°,氟弹性体Vitone聚合物在合成橡胶氯丁橡胶,以及全氟弹性体组件。Kalrez组件在通过ISO 9001质量认证的工生产,并以带有条形码的信封销售,以确保完全可追溯性。
杜邦公司™Kalrez®为您的应用需求提供各种产品
杜邦产品线"“Kalrez专为在苛刻的工艺环境中提供优异的性能而设计。由于其高耐酸性,胺,超纯去离子水,坚固的基础和高温,Kalrez产品是任何应用的理想解决方案。制造商可以提高其操作环境中的密封性能。
在食品和制药行业的纯度
关于食品和制药行业的法规要求更高的关注和更严格的指导方针。产品安全。用于制药应用的Kalrez“组件确保与树脂的清洁性和化学惰性是真正的弹性体。其热性能和化学性能与橡胶相似。a.Kalrez为制药行业提供新的保护水平,防止污染和泄漏。a。
使用高温的工艺中密封的可靠性,攻击性化学物质和等离子体,
其他关键应用
由于对燃料的耐受性非常强添加剂润滑剂;腐蚀性化学品和高温,Kalrez组件已经在航空航天钻井应用中使用,如今在最苛刻的环境中是 。不允许有密封泄漏的地方
在化学和碳氢化合物加工中耐化学品和高温
在目前的化学和碳氢化合物加工设施中,在较高温度下进行,使用更长的时间,并且涉及更具侵略性的产品。为了缩短平均维修时间(MTBR)并提高安全性,Kalrez组件是 。长期以来,工业标准是杜邦"“Kalrez4079但日益增长的生产需求导致了更高性能的产品开发。今天,杜邦产品家族"卡尔需兹频谱"扩展Kalrez”4079组件的化学和热性能,以 满足这些应用的规格。
电子产品
这些组件有助于降低晶圆加工的总运行成本,光伏面板和液晶显示器设备的制造工艺,提供更长的保质期和延长平均维修时间。不兼容的保质材料导致的非计划维护可能会干扰生产计划,导致机器停止。Kalrez”组件可以帮助改善

杜邦公司™^Kalrez®提供最广泛的化学抗性
对超过1800种化学物质具有 的抵抗力
杜邦全氟弹性体部件""Kalrezh具有几乎普遍的化学抗性。抵抗超过1800种化学物质的侵袭,溶剂和等离子体。常规使用Kalrez产品对于需要广泛的耐化学性的所有应用,不再需要将不同的产品存放在仓库中,从而降低库存成本。
最小膨胀量
化学物质引起的膨胀可能导致O型圈和由其他轮胎制成的密封部件从密封槽外膨胀,最终导致密封件松动。Kalrez°组件在暴露于各种产品时,可承受显著的膨联
化学品和溶剂,包括浓缩的硝酸氢氧化钠,乙二胺和蒸汽。
优化化学阻力和密封性能
为了在特定应用中 限度地提高密封性能,杜邦不断开发新产品以满足新的需求。在化学品和碳氢化合物加工领域,杜邦Kalrez@Spectrum产品系列"提供更高的耐化学性和更高的热稳定性。这种组合为公司提供了更大的操作空间,用于其他化学用途和更高的热传递。有关Kalrez组件的化学兼容性更具体的信息,请联系请参阅杜邦的“耐化学性指南”或Kalrez应用指南,两者都可以在我们的网站上找到,或联系Kalrez部件的授权经销商


杜邦公司"“Kalrez®在高温应用和工艺中表现优异
工作温度高达327°C
即使长时间暴露在高达327°C的温度下,杜邦组件"Kalrez@比其他可用于高温应用的弹性体更好地保持其弹性和恢复性能。这些特性,加上几乎普遍的化学抗性,它们使Kalrezdi组件能够在非常广泛的工艺环境中运行。
保持密封性能
正如ISO3384测试所证明的,Kalrez组件在保持密封强度方面优于其他弹性体,密封寿命的衡量标准。即使在恶劣和苛刻的条件下,i组件Kalrez更长时间保持其密封强度。此外,由于具有与真橡胶相当的弹性,i组件Kalrez@防止由塑料流动引起的泄漏,聚四氟乙烯(聚四氟乙烯)有一个更大的问题。
压缩套件已更换
Kalrez@组件具有较小的压缩集,特性保证了长期 的密封性。由于Kalrezhan组件在压缩下比其他全氟弹性体更好的恢复,即使在长时间受力的情况下,它们也能更好地保持形状。

杜邦公司™Kalrez®在涉及化学品和碳氢化合物的最苛刻工艺中,延长了平均维修时间和维护寿命
杜邦KalrezKVSP减少挥发性排放物并改善过程控制
Testato fino alla classe 600 secondo ANSl/FC191-1-1994
*Certificato secondo le norme TA Luft*Confo airequitidoma crettNa sumeattrezzature a presslone PED9T/23/EC
Kalrez”确保用于加工化学品和碳氢化合物的密封件的使用寿命
在泵、阀门、机械密封或分析设备中杜邦部件"“Kalrez年复一年地证明了其品质。其对 侵蚀性的化学品和高温的高耐性使其能够抵抗膨胀和脆化,密封过早失效的主要原因之一。无论是O形圈,定制或系统形式阀杆包装,i组件Kalrez”提高生产力,限制挥发性排放物并减少昂贵的密封泄漏4
减少摩擦与系统Kalrez阀杆包装KVSP™
在手动和自动控制中,使用杜邦"卡尔雷兹®KV SPT杜邦Vespel支撑部件的V形环Kalreze组合物,可承受高达288°C的温度,可提高阀门性能,降低维护成本并限制挥发性排放量至10 ppm以下。KalrezKVSP™无需维护,是石墨和聚四氟乙烯密封系统的替代品。
减少摩擦,Kalrez°KVSP提高了过程控制的可变性,提高产量和产品质量。摩擦数据表明,Kalrez?KVSP™提供与PTFE密封系统类似的性能。由于它们不需要对阀门进行修改,安装后很少需要调整,卡尔雷兹KVSPT“在阀门性能方面是一个重要的更新。

杜邦公司"“Kalrez°确保制药过程的完整性和纯度
其结合了热性能和化学性能以及类似橡胶的密封性能,杜邦组件"Kalrez8为制药行业提供了新的保护级别,防止工艺污染和粘合剂沉降。类似于PTFE用于清洁,热和化学抗性Kalrezha通用密封材料的弹性和抗压性,例如乙烯-丙烯聚合物(EPDM)。氟弹性体(EKM)和硅橡胶。已开发出Kalrez®neri和白色产品,以满足特殊密封要求。现代制药和生物制药生产流程,以提高纯度及完整性。
符合FDA和USP标准
根据食品接触通知证书FCN000101,美国食品和药物管理局(FDA)已确认Kalrez”6221和Kalrez°6230全氟弹性体成分符合直接与食品接触的重复使用要求。该证书是FDA针对食品接触物质的上市前通知流程后颁发的,根据《联邦食品法》第409(h)条的规定,《药品和化妆品法》(21U.S.C.348(h))。这是FDA批准使用食品接触产品的主要工具。FCN000101规定材料的可提取性限制不得超过0.031毫克/平方厘米。指定的Kalrez°6221和Kalrez®6230产品已根据美国药典VI类(USPVI类)标准进行测试,并符合要求。此外,指定产品Kalrez*符合FDA21CFR 1777.2600标准的要求。


使用杜邦组件在电子领域提供更高的性能"卡尔雷兹®
在电子领域,涂料受到影响性能的工艺条件的影响。几乎完全的耐化学性和高耐高温性使杜邦部件™“Kalrez@}几乎可以用于任何涉及高温的工艺应用,包括所有类型的血浆。
除了 的耐化学性和热稳定性外,杜邦
卡尔雷兹“超纯"“确保与反应性等离子体和清洗气体接触时减少污染,真空密封性能更好,脱气更少。此外,卡尔雷兹"超纯部件"“在无尘环境中制造,在100级工作站上特别清洁和双重包装。
Kalrez"组件确保在具有侵略性等离子体的应用中的长期可靠性,沉积作用,热处理应用和
潮湿的,无论是晶圆加工,制造光伏电池板或液晶显示设备的过程。
Kalrez组件可用作AS568标准0形圈,JIS和公制尺寸。此外,还提供粗片和特殊形状,用于焊接密封件或定制开发。
在电子领域进行实地实验
■使用高能氧等离子体焚烧炉生产超过50000个晶圆,无需更换喷嘴阀密封
在250°C的LPCVD氮化物管式炉中超过400个晶园(6个月)
在300”C的氮化物工艺中,与硅相比,密封件的使用寿命增加四倍,粘附性降低
■与其他全氟弹性体相比,在金属酸攻击过程中具有双耐久性
与130°C等离子焚烧炉门密封件中的硅胶相比,密封件的使用寿命增加10倍
在100°C湿化学泵应用中可提取的离子更少
用于液体显示器加工的酸接合装置的大型螺旋阀密封时间超过6个月
■在280°C扩散炉应用中的密封持续时间超过3个月
8个月的密封期(比竞争对手的自定义密封期高35%%6)为杜邦"卡尔雷兹三叶""在TEOS PE-CVD工艺中
■在等离子体焚化炉中使用Kalrez密封件实现双重使用寿命
■与竞争对手的全氟弹性体在等离子焚烧炉淋浴间中的密封寿命相比,密封寿命长8至14倍(超过3个月)
在PECVD闸阀应用中,与竞争对手的全氟弹性体相比,密封件的使用寿命长一倍
使用CIF3清洗气体在LPCVD中实现 性能(脱气并产生更小的颗粒)

杜邦组件"“Kalrez@在其他 应用环境中提供更好的性能
航空和航天工业
杜邦卡尔雷兹组件的耐高温性能使其成为航空航天应用的理想选择。卡尔雷兹"组件还能够抵御航空航天中使用的侵蚀性流体的接触,作为喷气燃料,发动机润滑油,液压流体,火箭推进剂和氧化剂。
石油和天然气
Kalrez”组件即使在钻并最恶劣的条件下也能正常工作,在高压和高温下,酸性气体和腐蚀性液体。导致膨胀的热量,腐蚀性液体和有毒气体会破坏其他材料的物理特性和密封性能。
在超过40年的现场经验中,应用于:30多年来,Kalrez组件在以下应用中表现出色:
·托管包装机
车载辅助发电机
为了满足工业界对能够承受更恶劣操作环境的材料的需求,已经开发出新一代的航空/航天工业材料。这些产品,杜邦公司"卡尔雷兹航空密封剂",提供出色的热稳定性和抗压缩性,保持良好的密封强度。

阀座,框架,密封件,用于包装机,申T型管,U型密封件,每列记录装置,定制形状
杜邦系统"Kalrez°值茎包装™风(KVSP)
定制解决方案-有限元分析(FEA)
有限元分析软件提供单源分析能力。从设计新的钢筋构造与同步分析到优化槽几何FEA提供 的灵活性,缩短产品开发时间,将创新解决方案推向市场。
快速交货
标准0型圈和库存部件可在48小时内交付,在提出请求和事先同意的情况下,在欧洲和北美的大多数目的地。欲了解更多信息,请联系销售代表和客户支持。
任何想要的形状
存在和可靠的分销商网络
卡尔雷兹组件。,可通过授权经销商的广泛网络迅速提供,提供技术支持,帮助您解决您的房地产问题。有关授权经销商的完整列表,请联系杜邦。
·标准0形环,尺寸为AS-568、Metric和JIS


TM 杜邦™卡尔瑞兹
全氟弹性体零件
用于光伏制造工艺
技术信息-2012年9月
提高运行时间..
提高吞吐量...
更低的拥有成本..
随着对光伏系统需求的增长,制造商必须找到增加正常运行时间和提高产量的方法。通常,使用更激进和高效的化学品和/或更高的温度来增加吞吐量;从而对制造基础设施造成更大压力。由于不兼容的密封材料导致的计划外维护可能会干扰生产计划,导致停机时间。因此,无论是基于晶圆还是薄膜工艺的密封材料,都应该具有广泛的化学相容性和优异的热稳定性。
杜邦“Kalrez全氟弹性体部件已在高度腐蚀性密封环境中进行了30多年的现场验证。Kalrez部件有助于提高在光伏工艺中的密封可靠性,这些工艺使用高温、腐蚀性化学品和等离子体。Kalrez密封件能够抵抗超过1,800种化学品:包括反应性气体和等离子体、碱、酸和溶剂。即使在接触这些腐蚀性化学品的情况下,Kalrez密封件在高达325°C的温度下仍能保持其弹性体特性。
杜邦 推出的密封产品,旨在提供 性选择性干法工艺的升级选择,优于标准弹性体。W230提供了 的性能组合(对酸/碱的抗性),以及杜邦所期望的经过验证的性能。™Kalrez°全氟弹性体部件。
在第2页中,建议的 Kalrez产品可用于不同的光伏电池制造工艺以及多晶硅原料生产和减排系统。

光伏产品选择指南
硅片基电池制造工艺
表面处理/清洁
卡尔雷兹W230
兴奋剂卡尔雷兹PV8070
工艺类型
锯片损伤去除表面处理和清洁
N-兴奋剂
边缘隔离
P 硅酸盐去除
ARC涂层
其他工艺类型
多晶硅原料生产西门子技术
消减系统(“湿”洗涤器)
边缘隔离
Kalrez®W23019100
P 硅酸盐去除 Kalrez°
W230
ARC涂层Kalrezw230/9100
典型工艺环境
HF,稍酸,80°C浓统NaOH,KOH,IPA,HCI,热水
850-900°C,氧化物喷射,原位氟酒洗
CF/02等离子体刻蚀
NaOH、KOH、HF、HNOHCI等SiH4,NHa,02等离子体PECVD或反应溅射,原位NF3等离子清洗
典型工艺环境
TCS CVD沉积1100°C,SiHCI,HCI,赫兹
强酸/碱
金属化
建议的杜邦产品
Kalrezo W230
Kalrez® P8070
Kalrez® W230/9100*
Kalrez® W230
Kalrez® W2309100
建议的杜邦产品
Kalreze W230PV8070
餷週婎觫敲鬚柘ぱ征lrezo W230
测试分院

薄膜电池制造工艺
返回联系方式
模式化激光雕刻
工艺类型
细胞层沉积/吸收器
Amorphous/Micro-CrystallineSilicon
CIS/CIGS。扩散
。Cds缓冲沉积
oCu(In,GA)溅射
·碲化镉
o单侧激活
o镉蚀刻
oCds缓冲区沉积
TCO沉积/前接触
细胞层沉积
产品见下文
图案化激光书写
TCO沉积见下文关于产品。
典型工艺环境
SiH4,Hz,等离子体PECVD,远程NF3等离子清洗
500-550”C,氢硒,H2S扩散65°C溶于NH40H中的Cd和S盐400-600℃,真空
400°C,CdClz溶于甲醇,浓H3PO4,硝酸65°C,镉和硫盐溶于NHOHZn0反应溅射二乙基锌(DEZ)MOCVD
图案化激光书写
铛凝措试分院
建议的杜邦产品
Kalrez8 W2309100*
Kalrezs W230PV8070*
Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrezs W230VPV8070*
请联系Kalrez应用工程师,以获取此应用中 的产品

杜邦Kalrez@W230光伏产品的推荐产品Kalrez°W230 全氟弹性体部件是一种黑色产品,适用于需要广泛化学耐性的 PV 湿法和选择性湿法制造工艺。W230提供了极好的性能组合(耐酸/碱),是PV湿法工艺的升级选择,作为标准弹性体的替代品。建议 连续使用温度为 230°C。杜邦™卡雷兹Kalrez°PV8070全氟弹性体部件是黑色产品,适用于需要高温抗性的PV电池制造过程。它表现出优异的耐热稳定性,并具有优良的(低)压缩变形和脱气性能。它还具有良好的抗氯气和氟气以及其他干法工艺化学品的性能。KalrezPV8070具有优异的机械强度性能,非常适合静态和动态密封应用。建议的 连续使用温度为325°C。短期游览高温地区也是可能的。
杜邦公司:卡尔雷兹9100Kalrez°9100全氟弹性体部件是一种琥珀色半透明产品,用于边缘隔离、ARC涂层和要求耐氟等离子体的光伏电池制造工艺,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀积。在基于氟的等离子体(如 NF3、F2)中,它表现出极低的重量损失和超低的粒子生成。它还具有优异的耐干法化学性,并具有优异的热稳定性、压缩设定和排气性能。Kalrez°9100具有良好的机械强度特性,非常适合静态和动态密封应用。建议的 连续使用温度为300°C。

杜邦公司™卡莱兹全氟橡胶零件
半导体工业中的等离子体过程
杜邦"Kalrez*全氟弹性体部件已在高度腐蚀性密封环境中成功使用超过40年。Kalrez*部件具有优异的化学和热稳定性并经过特别配方和加工,以满足晶圆处理环境的独特要求。杜邦Kalrez密封件提供标准尺寸和定制尺寸的0形环,以及满足等离子体环境中品圆处理严格要求的可定制形状。在半导体行业使用的所有Kalrez°}产品都采用专有超净工艺和洁净室处理作为标准。
等离子体过程的产品选择
下表为根据生产工艺类型选择 Kalrez%要件提供了一个快速简便的工具:
工艺类型
HDPCVD
PECVD /PEALD
PECVD固化工艺
SACVD /FCVD
导体(聚合物/金属)蚀刻
介电(氧化物)蚀刻
灰烬/碎屑
使用温庶
250°C至300°C
275°C至310°C
150°C至200°C
280°C至300°C
150°C至225°C
100℃C至180°C
180°C至250°C
典型化学品
TMS,DEMS,TEOS,SiH,,NH,SiF4,0,,N,O,CF,NF
TMS,DEMS,TEOS,SiH,
NH,SiF,O,N,O,CF.NF
05+紫外线
TEP,TEBO,TEOS,O,NF,NH,
CF4,CHF,,HBr,BCL,CCLZ,CL
NF
CF ,CF CHF SF .O..H
O,,CF,CHF,NH,,水
蒸汽,H“形成气体
建议产品
Kalrez”9100/9500
Kalrez*9600
Kalrez*87052
Kalrez°9500
Kalrez”9500/9600
Kalrez*9100/9300
卡尔雷兹9300
Kalrez*9300/8002


当前Kalrez@产品适用于等离子体应用
卡尔雷兹9600Kalrez°9600 部件专为高纯度、高温真空应用而设计,在这些应用中,密封件会暴露在具有破坏性的氟和氧等离子体自由基中。它具有极低的等离子体攻击侵蚀率和重量损失,对氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化学抗性。它在压缩时的 弹性和在高温条件下的超低出气率使其特别适用于纯度至关重要的应用,如等离子体增强原子层沉积和化学气相沉积工党
Kalrez*9500Kalrez® 9500 部件专门针对使用臭氧、氨和水蒸气进行加工的沉积工艺而设计,例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工艺等。它专门设计用于等离子体环境更“化学”的应用,即氧和氟原子基更占优势的应用。Kalrez°9500还具有出色的热稳定性、极低的气体逸出和优异的机械强度,非常适合静态和动态密封应用。
卡尔雷兹”9300
Kalrez@9300 部件专为介电(氧化物)蚀刻应用而设计。它特别设计用于等离子体环境为离子(“物理”)和自由基(“化学”)组合的应用,即通常需要平衡“物理”和“化学等离子体耐蚀性的应用。Kalreze9300 表现出对氧和氟基等离子体和蚀刻工艺化学的出色耐性。它还具有非常低的金属含量、优异的热稳定性和机械强度,非常适合静态和动态密封应用。
卡尔雷兹”9100Kalrez®9100部件专门针对 PECVD、ALD、HDPCVD 和导体(聚/金属)蚀刻应用而设计Kalrez®9100 专门设计用于恶劣等离子体环境中的低磨损和超低粒子生成。它提供优异的耐热稳定性、非常低的气体逸出以及优异的弹性恢复和良好的机械强度特性,非常适合静态和“选择”动态密封应用。
卡尔雷兹”8002Kalrez°8002部件是用于灰/带应用的透明产品。与矿物填充产品相比,这种未填充的产品在氧气和氟化物基等离子体中具有优异的抗等离子体开裂性能和极低的粒子生成。Kalrez8002表现出优异的干法化学抗性,具有良好的机械强度,非常适合静态、低应力/低密封力以及“选择”粘合门密封应用。
卡尔雷兹*8705Kalrez®8705 全氟弹性体部件主要设计用于常规光源或等离子体发出的高能紫外线(UV)辐射的直接路径中的密封位置。它们还具有良好的抗高浓度破坏性自由基的能力,以及在高温真空应用中的 密封功能。它们极低的粘附力使其成为密封石英表面的理想选择,如紫外线固化室中的石英窗和光致抗蚀剂带设备中的石英管,不会留下不想要的残留物。


杜邦公司™卡莱兹全氟橡胶零件
半导体工业中的热过程
杜邦™Kalrez°全氟弹性体部件已在高度腐蚀性密封环境中成功使用超过40年。Kalrez的部件具有优异的化学和热稳定性,并经过特别配方和处理,以满足晶圆处理环境的独特要求。杜邦Kalrez)密封件提供标准尺寸和定制尺寸的0形环,以及定制形状,以满足热环境中品圆处理的高要求。在半导体行业使用的所有Kalrez)产品均采用专有超净工艺和洁净室处理作为标准。
热过程产品选择器
下表为根据生产工艺类型选择 Kalrez®要件提供了一个快速简便的工具:
工艺类型
ALD/LPCVD/金属CVD
氧化/硝化/扩散
灯退火 /RTP
晶圆表面制备
使用温度
250°C至300°C
280°C至300°C
250℃C至275°C
200°C至275°C
典型化学品
WF,TiCL,SIHHF,F.CL,O,HO蒸汽,CIF,
NO..H 0Vapor,HCI,CL,O,
红外光、0、H、O蒸气
NF.NH, HF, F,H,
建议产品
Kalrez*8900/7075UP
Kalrez 7075UP/8900
卡尔雷兹’8575
卡尔雷兹”9500/9600
1请咨询Kalrez°应用指南和/或您的Kalrez"代表,以评估性能是否适合您的具体应用
热过程的典型应用:
石英室密封件
愨使鐮柄劇躁戯鉦莉
中心环
低介电固化工艺

当前Kalrez°产品适用于热应用
卡尔雷兹”8900Kalrez“8900”部件适用于氧化、扩散、ALD和LPCVD应用。它提供 的耐热稳定性、非常低的析气率和优异的(低)压缩回弹特性。Kalrez*8900}部件在高温下表现出优异的物理性能保持能力,具有优异的机械强度,非常适合静态和动态密封应用。
丛黃聂標脩鍆嗒栖廡棛霊睪?ма37390901002412011D14115010138 280 150
Kalrez”8900 零件:非常低的外形与兼容的 FFKM 产品相比
卡尔雷兹”8575
Kalrez®8575部件适用于氧化、扩散、灯退火和实时传输协议密封应用。Kalrez°8575具有优异的耐热稳定性和长期密封性能,红外(IR)吸收少,在高温下排气性能显著降低。它还具有良好的机械性能,适用于静态和低应力/低密封力应用。
Kalrez”7075UPKalrez°7075UP 零件专门用于金属 CVD 应用。它们具有出色的热稳定性、极低的析气率和优异的压缩回弹特性。Kalrez°7075UP表现出优异的密封力保持能力,具有良好的机械性能,非常适合静态和动态密封应用。
Kalrez*8575 部分
超纯后清洁和包装是所有由Kalreze7075UP制造的零件的标准配置,
Kalrez* 7075UP O型圈
Kalrez 9500Kalrez@ 9500 部件专门针对使用臭氧、氨和水蒸气进行加工的沉积工艺而设计,例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工艺等。它专门设计用于等离子体环境更“化学”的应用,即氧和氟原子基更占优势的应用。Kalrez"9500还具有出色的热稳定性、极低的气体逸出和优异的机械强度,非常适合静态和动态密封应用。
Kalrez" 9500件基于专有的交联系统
该系统仅由杜邦提供。
Kalrez 9600Kalrez®9600 部件专为高纯度、高温真空应用而设计,在这些应用中,密封件会暴在具有破坏性的氟和氧等离子体自由基中。它具有极低的等离子体攻击侵蚀率和重量损失,对氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化学抗性。它在压缩时的 弹性和在高温条件下的超低出气率使其特别适用于纯度至关重要的应用,如等离子体增强原子层沉积和化学气相沉积工艺。
Kalrez° 9600 0型园


杜邦公司”卡尔雷兹
半导体硅片加工用弹性密封件的泄气特性
技术文献-在AVS研讨会上的论文,2009年11月
大多数集成电路制造工艺都在高真空或超高真空规定的范围内对于确保 工艺效率、均匀性和一真空泵是维持足够真空水平以进行加工的主要机制方面可以发挥作用。更重要的是控制腔室内工艺环通常可以补偿由于密封放气引起的真空水平变化成分的潜在有害变化。由于放气引起的腔内分压变云压过程中的质量问题。
一般来说,人们普遍认为弹性体比金属更容易逸出气体。在许多超高真空系统中,使用金属密封件来避免这个问题。然而,金属密封件并不总是有效和/或实用。使用金属密封件的一些困难包括:
安装困难
昂贵
Non-reusable
动态应用中的密封性能较差
石英和陶瓷密封应用中部件损坏的可能性
因此,真空系统设计师和工艺工程师了解弹性密封件的脱气特性非常重要。目前,没有行业标准来测量和表征弹性密封件的脱气性能,可用的有用数据有限。
本研究通过杜邦开发的一种测试方法,评估和比较了三种不同类别的弹性密封材料在半导体工艺环境中的析气特性。表1列出了评估的产品/材料。

表1.评估的材料
弹性体分类
全氟橡胶
全氟橡胶
氟橡胶
硅酮
参考文献识别
杜邦公司™ Kalrez°8900
杜邦公司™Kalrez°8475
FKM-K7
VMQ-T1
聚合物类型
TFE/PMVE
TFE/PMVE
VF?/HFP
甲基二硅氧烷
填充系统
碳黑
二氧化硅/金属氧化物
系统
杂环
杂环
碳黑
二氧化硅
双酚
有机过氧化物
*FKM 和 VMO 是ASTM 标记的弹性体类别。K7和T1是杜邦内部参考。
开发的测试方法和相关设备使用残留气体分析仪(四极质谱仪的一类术语)来评估弹性体的脱气性能其他用于脱气分析的测试方法/分析设备有时是TGA-FTIR或质谱法,以及顶空GC质谱法。虽然这些技术很有用,但它们有一些局限性和缺点。表2比较了每种测试方法的能力。
表2.排气试验方法比较
测试能力
真空下的测量
温度控制
民进党方法RGA/QMS*
是的,特高压”
可编程的
分析温度330“C气体种类分析方法(带电子倍增器)质量管理体系
定量结果
总排放速率(吨·升/秒/厘米2)
TGA-FTIR/MS热
重分析
不,1台自动取款机
可编程的
1000“C
MS或FTIR
体重减轻百分比
HS-GC/MS头空
间气相色谱法
不,1台自动取款机
等温的
230“C
GCIIMS
难以获得(需要昂贵的校准)
超高真空,1x10&torr"QMS=Quadrupole Mass Spectrometer
杜邦测试方法的主要优点是在代表典型半导体工艺的环境中获得定量放电数据的能力。
本文介绍了杜邦开发的测试方法,比较了三种常用弹性体(表1)的脱气数据,并讨论了这些数据如何用于协助设备和工艺工程师。测量和比较的特征包括总脱气率作为温度的函数和给定温度下的总脱气率作为时间的函数。此外,该方法和设备允许分析/监测与每种速率测试中的物质质量电荷比(M/z)相关的特定气体物种。
2.0实验程序
杜邦开发的协议涉及设备和测试方法,能够测量弹性体在类似于典型半导体加工应用条件下的脱气特性。它允许确定总脱气速率与时间和温度的关系,并在真空下监测样品释放的特定气体种类。
由于弹性体通常是根据其化学耐性和热稳定性与使用要求的组合来选择的,因此初始测试比较了每种材料在温度增加时的脱气特性。在这些测试中,很明显有必要在两个阶段测量脱气率与温度的测试。在初始加热阶段(从约50°C到>300C),一些材料脱气,使得腔室内的局部压力增加到>1x10 4托。 在这种偏压下,无法使用能够提高离子电流/气体种类检测灵敏度的电子倍增器。
此外,由于评估的三种材料中有两种通常不建议在高于约200°C的情况下连续使用,因此分两阶段进行了脱气特性测试。 阶段测试在约50°C至200°C的范围内进行。在真空下冷却至约50°C后, 阶段在同一样品上从约50°C至330°C进行。采用这种方法可以更准确地监测(并更全面地了解)脱气机制。图1显示了脱气测试设备。
图1.残留气体分析器/排气试验设备
2.1样品的制备
AS568A尺寸为214的0形环与表1中列出的每种材料相对应。每个0形环都被称重。然后收集0形环的1/16部分,用于评估。在样品制备过程中,注意避免可能的污染,因为处理可能会影响放气结果。将样品放入石英舟中,然后将石英舟放入石英样品管中(见图2)。

2.2测试设备的设置与运行
在对任何弹性体样品进行评估之前,系统通过允许其泵压两周左右来调节,以确保系统清洁且无污染物。关闭阀门#2后,使用涡轮分子泵(TMP)泵压至约2x10°托。在进行出气测试之前,将真空保持在这一水平12小时。初始调节后,TMP连续运行,直到测试完成。在阀门#2仍然关闭的情况下,将包含样品的石英管紧固到位。使用一个Conflat密封件铜金属密封件)来确保任何气体逸出都只来自评估样品。一旦石英管就位,打开阀门#3并使用干泵将石英样品室抽至1x10"托尔的真空水平。
2.3 定量和定性排气测量与表征2.3.1.脱气速率与温度的关系( 阶段)-通过关闭阀门#3并打开阀门#2,系统被允许平衡(P1=P2~1x107托)。离子计1和离子计2(真空室)之间的真空管线具有0.0005升/秒的传导系数。使用此传导系数,脱气流量的计算如下
Q=C(P2-P1),其中
Q=气体流量(转/升/秒)
C=导电系数与管径和长度成正比=.005升/秒。
P2=离子计2处的压力读数(扭矩)
P1=离子计#1处的压力读数(扭矩)
由于样品以受控速率(1°C/min)加热,从弹性体中逸出的气体导致P2发生变化,从而计算出产生的流量。将产生的流量除以评估样品的表面积,得到每平方厘米表面积逸出流量(托-升/秒/平方厘米),将流量绘制成与石英管温度的关系图,间隔20℃。石英管加热器升至200℃℃。在阀门#2仍然打开的情况下,样品被允许冷却至约50°C,并在夜间保持该温度。
2.3.2 析气速率与温度的关系( 阶段)-在样品冷却过夜后,重复该步骤;然而将温度以2°C/min的速度升至330°C。在此期间,计算并绘制了析气速率与石英管温度的关系图。
2.3.3 在指定温度(275°C)下的析气速率与时间-对于此测试,按照第2.1节所述制备新样品。重复第2.3.1节所述的顺序;然而,将温度以4°C/min的速度升至275°C,并在275°C下保持21小时。在此期间,计算析气流量并绘制与时间的关系图。
2.3.4析出气体的定性和半定量分析---在第2.3.1至2.3.3节概述的每一次放气速度试验中,均使用四极质谱仪对析出气体进行分析。根据适当的电荷质量比(M/z),绘制了选定气体种类的相对强度与温度或时间的关系图。这与每种材料的排气速率曲线相结合,提供了一种半定量的测量方法,并对演变的气体种类进行了比较。虽然可以监测所有产生的气体种类,但只监测并绘制了通常与吸收/产生的大气气体(H20、02、N2/CO和CO2)逸出相关的气体种类,以及与交联或热分解相关的气体复合物。对于测试的全氟弹性体和氟弹性体,这些是HF、CF2H、CF3和C2F3;对于硅样本,这些是(CH3)3-Si和(CH3)3-Si-0-Si-(CH3)3.
用于分析的质诺仪的规格如下:
制造商:
型号:
纤维类型:
大规模分解:
探测器:
敏感性:
最小可探测部分压力:
安尔瓦M-QA100TS钨M/delta M2M
CEM(电子乘数)
3.8 A/Pa(CEM)用于N2
1堪.0 E-12 Pa

相对离子强度数据以对数尺度绘制。从数据中进行了许多观察,以帮助理解每种材料的速率性能差异以及导致这种差异的气体物种的身份。
在所有监测的气体种类中,M/z=18(H20)对每种材料的振幅度 。随着温度的升高,杜邦的H20离子强度"Kalrez°8475和FKM-K7比杜邦高出一个数量级Kalrez°8900和VMQ-T1。这似乎是造成排气速率差异的主要原因。
按离子强度顺序排列的下一组气体包括吸收/进化的大气气体(N2,02,CO,二氧化碳
离子强度 的气体与热降解有关。这些气体是全氟橡胶和氣橡胶的HF和CF络合物,以及硅酮的CH3-Si络合物。
数据显示,所有测试的材料类别都会吸收大气中的气体(主要是水分),这些气体会在加热时逸出。它还表明,同一材料类别(Kalrez°8900和8475)的逸出性能可能会受到配方/混合差异的影响。
3.2 阶段排气(50°C至330°C)
图10显示了图9显示了所有四种材料在 阶段的总放气速率与温度数据。为了比较,目使用与图9中 阶段数据一致的垂直刻度重新绘制的 阶段速率数据。
关于 阶段结果以及 阶段和 阶段之间关系的意见和评论是:
·在 次加热上升周期中,所有四种材料的析气速率保持非常低且平稳,直到达到约200°C。这表明,一旦材料暴露在特定温度下并在真空中允许析气,其性能将保持稳定,直到引入更高温度以引发进一步反应。从200°C到330℃,杜邦"Kalrez®8900和 8475 的析气率 ,而VMQ-T1和 FKM-K7 的析气率显著增加。这符合与标准氟橡胶和硅酮相关的公认的热限制。
· 阶段和 阶段的速率曲线比较表明,在大约200°C时,Kalrez°8475}和VMO-T1的速率性能之间存在交叉点。Kalrez°8475}以乎表现出较高的初始脱气,这可能是因为其填料系统的吸湿性更强。然而,随着温度的升高,VMQ-T1的热限制导致其以比Kalrez° 8475}更高的速率脱气。
图11、12、13和14分别显示了Kalrez°8475、Kalrez°8900、FKM-K7和VMQ-T1的选择性离子强度数据。